1200℃双温区CVD系统（低真空、高线C-II-CVD
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发布时间：2024-05-20 08:28:34
安徽贝意克设备技术有限公司坐落在合肥市高新区科学大道110号，是一家专注于新材料、新能源、装备设备的研发生产与一体的*，合肥市科技小巨人培育企业。企业具有多名专家顾问，其中千人一位，青年千人2位，教授3位。企业具有400平米的重点实验室，部分实验室对外开放。涉及领域包括，石墨烯、碳纳米管、高温荧光粉、OLED有机小分子材料、PECVD系统等。另外企业具有智能高低温CVD系统、各种真空气氛管式炉，各种高低温箱式炉、等离子清理洗涤设施、RF溅射设备、各种压力的手动自动压片机、各种功能尺寸的手套箱、各种功能的球磨机、金属陶瓷切磨抛设备、氧化锆齿科烧结炉等设备。
此套设备是由1200℃双温区开启式管式炉、三路质量流量计及低真空系统组成，根据工艺技术要求亦可选配高真空系统。设备能抽真空通气体保护。气动弹簧支撑结构使开启更便利、简捷，使用者可直接将样品放到恒温区加热，在快速降温过程，透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态。法兰采用卡箍快捷接头，减去了取放料时的繁琐操作， 炉管工件横穿与上下各8组进口电阻丝的炉膛，温场均匀，内外温差可控制在3度左右。此款系统大范围的应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。
标准配件：石英管1支，莫来石管堵2对，不锈钢法兰1套，硅胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支；
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